Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, UltiDry 다단 회전 로브 진공 펌프 신제품 공개

아산--(뉴스와이어)--글로벌 기업 Busch Group의 계열사인 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions가 새로운 UltiDry 다단 회전 로브 진공 펌프를 공개했다. 까다로운 반도체 응용 분야 용도로 설계된 UltiDry는 견고한 성능과 높은 에너지 효율성 및 공정 유연성을 제공한다...