中 반도체 '비상'…EU, 희토류 규제에 맞서 ASML 'DUV' 수출 규제

ASML의 DUV 모습 / 사진 ASML 홈페이지 갈무리

유럽연합(EU)이 중국의 희토류 수출 규제에 맞서 무역 보복책을 준비 중인 것으로 알려졌다. EU는 미중 무역 갈등과 기술 패권 경쟁이 격화하는 가운데, 중국의 희토류 및 관련 기술 수출 제한을 빌미로 네덜란드 기업 ASML의 DUV(Deep Ultraviolet) 반도체 장비에 대한 수출 규제 강화를 검토한다.

23일(현지시각) 블룸버그 통신에 따르면, 브뤼셀 무역 당국은 중국의 희토류 수출 규제와 관련한 외교적 해법이 실패할 경우 DUV 장비 수출을 통제한다. 장비 기업 ASML에 가장 큰 타격이 될 수 있다.

ASML은 이미 최첨단 미세 공정 반도체를 생산할 때 쓰는 EUV(Extreme Ultraviolet) 장비의 중국 수출을 제한하고 있지만, 첨단 공정이 아닌 DUV 장비는 허가를 받고 수출 중이다.

하지만, EU의 보복조치가 현실화하면, 중국 반도체 제조사들이 필수적으로 사용하는 DUV 장비의 공급도 중단할 수 있다.

2025년 3분기 기준 ASML의 중국 매출은 24억유로(3조5000억 원)로, 이 중 42%가 반도체 제조 시스템 관련 매출이다. DUV 시스템이 전체 매출의 25% 이상을 차지하는 등 중국 의존도가 크다.

중국의 주요 파운드리와 칩 메이커가 사용 중인 DUV 장비는 28나노 이하 공정 제조에 필수적이며, 자동차용 MCU부터 AI 가속칩까지 다양한 칩 생산에 핵심 역할을 하고 있다.

미국과 네덜란드는 최첨단 EUV 기기 수출을 막는 동시에, DUV 장비도 허가 기반 공급 체계로 관리 중이다. EU가 DUV 장비 수출도 전면 금지하게 되면 ASML은 단기간에 큰 매출 손실을 피할 수 없으며, 중국 내 설비도 유지에 어려움을 겪게 된다.

중국은 이미 국영기업 SMEE 등 자체 반도체 장비 개발을 가속해 DUV 대체 기술 확보에 나서고 있다. 단기적인 공급 충격은 발생하겠지만, 장기적으로는 중국의 기술 자립도가 오히려 강화될 수 있다는 평가도 나온다.

EU의 DUV 장비 수출 규제는 조만간 결정될 전망이다.